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高純氣體充裝的抽空操作

       一、開(kāi)啟真空泵,同時(shí)抽空匯流排,負(fù)壓值≥0.1MPa,繼續(xù)抽真空15~30min,關(guān)閉抽空管道截止閥后,停止真空泵
       二、緩慢開(kāi)啟抽空總閥,不要讓泵油外溢
       三、真空表指示值<-0.1MPa
       四、抽空5~15分鐘后
       五、關(guān)閉抽空總閥
       六、開(kāi)啟通氣閥,不要抽空管路過(guò)油
       七、關(guān)閉真空泵,抽空結(jié)束
2019/03/30 15:35:26 7148 次

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